產品簡介：F1140系列微小型流量氣體質量流量控制器／流量計由質量流量傳感器、層流原件、質量流量控制器調節閥和放大電路組成，測量和控制精度高、零飄小， 測量和控制范圍寬， 測量和控制的準確度不受環境溫度和外界壓力的影響， 廣泛的應用千真空鎖膜設備、半導體工藝設備、化學化工實驗設備、分析儀器、冶金材料工程、能源動力等各領域。